книга: КАТОДНОЕ РАСПЫЛЕНИЕ 1968г. Москва; Издательство Атомиздат; авт. : Н. В. Плешивцев; 344 стр. ; совсем небольшой тираж: 4 000 экз. ; твердый переплёт; Аннотация В книге дается обзор современного состояния экспериментальных и теоретических исследований катодного распыления. Рассмотрены вопросы практического использования этого явления в науке и технике. Указаны методы борьбы с распылением, когда оно вызывает нежелательные последствия. Монография может оказать помощь инженерно-техническим и научным работникам электронной, электровакуумной, оптической и полупроводниковой промышленности. В ней затрагиваются вопросы, которые могут заинтересовать инженеров-физиков, специалистов в области физики плазмы и твердого тела, металлофизиков и химиков, а также студентов. Книга содержит 47 таблиц, 54 названия, 167 рисунков. Несомненное достоинство книги по данной тематике - систематичность и пол